2路質子混氣系統MXGQ-2Z
MXGQ-2Z可以用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架上,管式爐可以放在MXGQ-2Z的上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥。結合微行爐業的管式爐,它可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響。
質量流量控制器
工作電壓:220V
大輸出功率:18W
控制范圍:
控制器1:1-199 SCCM
控制器2:1-499 SCCM
工作溫度:5-45 ºC
大壓力:3x 10^6 Pa
準確度:±1%FS
機械壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥:304不銹鋼
混氣罐:Φ80*120MM
截止閥:Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸:600*600*650MM
電話:021-63515605 63504668 63510721 63515606 63515607 63510720
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